ACU10FD数字型质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成，采用数字信号输入输出，具有预热时间短，零漂小，可靠性高等特点。

ACU10FD 质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

ACU10FD 采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。